单向流（平行流）洁净室最早在1961年出现在美国，叫层流洁净室。这种洁净室的出现，对于空气洁净技术来说，是一个重要的里程碑，使空气洁净技术发生了飞跃，使创造异常洁净的环境成为可能。单向流洁净室又可分为垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室。

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　　1、水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。 优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。 缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。

　　2、垂直层流式：房间天花板完全以高效过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。 优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

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