风机过滤机组（FFU）是将风机与高效过滤器（HEPA）或超高效过滤器（ULPA）组合在一起，构成自身可提供推动力的末端空气净化装置。它由风机、过滤器、机壳和电器控制等部分组成。FFU的主要技术性能包括风量（一般以断面风速表示）、余压、能耗、效率、噪声和控制方式等。目前国内电子工业洁净室应用FFU越来越多，不仅在大面积、空气洁净度要求严格的单身流或混合流洁净室（区）采用，而且在各种用途的、面积不是很大的单身流或混合流洁净室（区）中也有应用。

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