无尘室（Cleanroom，无尘室或洁净室），是指空气悬浮粒子浓度受控的房间，它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。当洁净室为某一小块封闭或者形式区域时，则称为洁净区。洁净室一般有以下三种状态：

(1)空态：设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。

(2)静态：设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员。

(3)动态：设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作。

无尘室的定义为将空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除，而得到一个相当洁净的环境。亦即这个环境中的微尘粒子并不是没有，面是相当少，称之为洁净室。净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、医院等行业等，其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响。

作为关键性的设备，无尘室净化系统，一般而言，由各种处理单元设备组成，对空气进行净化处理，使之达到净化无尘室通风要求。

以下简单介绍其处理流程：新风与回风经由空调箱初步过滤尘埃后，经由回风管道，送至表冷器，经由冷却盘管将空气降温至洁净室要求之规格，再送至末端高效送风口，经过高过滤后，供应至无尘室区。经过净化处理后的空气再由侧下方回风百叶回至空调箱混合段，与新风混合，进行下一轮净化处理过程，如些不断循环，达到净化过滤的目的。

净化无尘房的建造，是一个复杂的过程，需要控制好初投资成本，又要考虑后期企业规模的扩大，需要有效的衔接，更重要的，要从根本上控制运行成本，节约不必要的开支，为企业创造利润。

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